[发明专利]用于控制流体致动器的控制系统有效
| 申请号： | 201780033547.3 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN109477501B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨佰学;崔永俊;张秉威;坂田晃一;李树平 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | F15B9/08 | 分类号： | F15B9/08;F15B11/028 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 臧微微;王春光 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于定位一工件(22)的平台总成(10)，该平台总成包括一平台(14)、一底座(12)、一流体致动器总成(24)及一控制系统(20)。该流体致动器总成(24)沿着移动轴线(30)相对于该底座(12)来移动该平台(14)。该流体致动器总成(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；一活塞(36)，其定位于该活塞腔室(34)内且沿着一活塞轴线(36A)相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成(38)，其控制一活塞流体进入该活塞腔室(34)的流动。该阀总成(38)包括具有一入口阀特性的一入口阀(38C)。该控制系统(20)控制该阀总成(38)以控制该活塞流体进入该活塞腔室(34)的该流动。该控制系统(20)可利用该入口阀特性的一反转以控制该阀总成(38)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 流体 致动器 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于沿着一移动轴线定位一工件的平台总成，该平台总成包含：一平台，其经调适以耦接至该工件；一底座；一流体致动器总成，其耦接至该平台且沿着该移动轴线相对于该底座来移动该平台，该流体致动器总成包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室的流动；其中该阀总成包括具有一第一入口阀特性的一第一入口阀；及一控制系统，其控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室的该流动，其中该控制系统利用该第一入口阀特性的一反转以控制该阀总成。
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