[发明专利]硬掩模组合物有效
| 申请号： | 201780032612.0 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN109562944B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊 | 申请（专利权）人： | 亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊 |
| 主分类号： | C01B32/156 | 分类号： | C01B32/156;C08K9/04;C09C3/08;C09D161/14;H01L21/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 武娟;杨明钊 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文公开且要求保护的是用于形成旋涂硬掩模的组合物，该组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。还公开了用于形成硬掩模的工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模组合物，所述硬掩模组合物包含：一种或更多种具有一个或更多个外接环的富勒烯衍生物，所述富勒烯衍生物由以下通式表示：![]()
其中n是从1至12的整数，Q是具有60个、70个、76个、78个、80个、82个、84个、86个、90个、92个、94个或96个碳原子的富勒烯，P包括具有4个至6个成员的单个非桥接的环，或各自具有4个至12个成员的两个或更多个非桥接的稠环；并且还包含交联剂，所述交联剂包含两个或更多个热反应性基团或催化反应性基团，并且其中外接第一环P和第二环两者可以任选地包含至少一个杂原子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊，未经亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;托马斯·拉达;约翰·L·罗斯;艾伦·布朗;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;爱德华·A·杰克逊许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780032612.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
