[发明专利]侦测带电粒子装置及体现所述装置于质谱法的设备有效
| 申请号： | 201780029001.0 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN109314036B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 谢宏亮;郑俊彦;李怡锟;杨智翔;范量钧;曾耀兴;周思玮 | 申请（专利权）人： | 谱光仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;G01N35/10;H01L23/02;B01D59/44;B32B3/26;C08F12/14;G01J3/40 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;谢琼慧 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种侦测带电粒子装置，包括基板、彼此电连接且分别设置于所述基板的非共面的第一面与第二面的电荷侦测板与集成电路单元，及实质包覆所述电荷侦测板及所述集成电路单元的遮蔽干扰单元，以容许来自所述遮蔽干扰单元外的所述带电粒子撞击在所述电荷侦测板上供侦测。被设置在所述第二面上的所述集成电路单元是与被设置在第一面的所述电荷侦测板非共面，以防止所述带电粒子干扰所述集成电路单元。 | ||
| 搜索关键词： | 侦测 带电 粒子 装置 体现 质谱法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种侦测带电粒子装置，其特征在于：包含：基板；电荷侦测板，设置于所述基板的第一面；集成电路单元，电连接于所述电荷侦测板并设置于所述基板的第二面，所述第二面是与所述第一面非共面；及干扰遮蔽单元，实质包覆所述电荷侦测板及所述集成电路单元，此方式容许来自所述干扰遮蔽单元外的所述带电粒子在所述电荷侦测板上的撞击；其中，被设置在所述第二面上的所述集成电路单元是与被设置在所述第一面上的所述电荷侦测板非共面，以便于防止所述带电粒子在所述集成电路单元上的干扰。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谱光仪器股份有限公司，未经谱光仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780029001.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
