[发明专利]侦测带电粒子装置及体现所述装置于质谱法的设备

权利要求书

1.一种侦测带电粒子装置，其特征在于：包含：

基板；

电荷侦测板，设置于所述基板的第一面；

集成电路单元，设置于所述基板的第二面，所述集成电路单元与所述电荷侦测板电连接，所述第二面是与所述第一面非共面；及

遮蔽干扰单元，实质包覆所述电荷侦测板及所述集成电路单元，以容许来自所述遮蔽干扰单元外的所述带电粒子撞击在所述电荷侦测板上供侦测；

其中，被设置在所述第二面上的所述集成电路单元是与被设置在所述第一面上的所述电荷侦测板非共面，以防止所述带电粒子干扰所述集成电路单元；

所述基板具有依序堆栈的第一层、第二层及第三层的三层结构，所述第一层具有未覆盖所述第二层的部分的表面的部分，所述电荷侦测板是设置在所述第二层的所述部分的所述表面，所述集成电路单元是设置在所述第三层的相反于所述第二层的表面。

2.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述遮蔽干扰单元包括法拉第笼，及连接于所述法拉第笼的网状物。

3.根据权利要求2所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述法拉第笼实质覆盖所述基板的所述第一面与所述第二面并具有两开孔，所述法拉第笼的所述两开孔分别地对应于所述电荷侦测板及所述集成电路单元的位置，以分别地使所述电荷侦测板及所述集成电路单元暴露。

4.根据权利要求3所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述网状物覆盖所述法拉第笼的其中一开孔，所述其中一开孔对应于所述电荷侦测板的位置，以容许来自所述遮蔽干扰单元外的所述带电粒子撞击在所述电荷侦测板上供侦测。

5.根据权利要求3所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述遮蔽干扰单元还包括导电层，所述导电层是连接于所述法拉第笼并覆盖所述法拉第笼的其中一开孔，所述其中一开孔是对应于所述集成电路单元的位置。

6.根据权利要求3所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：还包含导电外壳，所述导电外壳实质包覆所述基板、所述电荷侦测板及所述法拉第笼，以容许来自所述遮蔽干扰单元外的所述带电粒子撞击在所述电荷侦测板上供侦测，并容许经由所述集成电路单元的信号输出；

其中，与所述集成电路单元对应位置的所述导电外壳的一部分是连接于所述法拉第笼，并当作所述遮蔽干扰单元的部件使用。

7.根据权利要求6所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述导电外壳具有对应于所述电荷侦测板的位置的孔，且所述网状物是架设在所述导电外壳以覆盖所述孔。

8.根据权利要求2所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：还包含绝缘层，所述绝缘层覆盖所述法拉第笼的一大部分，且所述网状物是被设置接触于所述法拉第笼的未被所述绝缘层所覆盖的一部分。

9.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述基板具有凹陷部，且所述电荷侦测板是被设置于所述凹陷部。

10.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述基板的所述第一面与所述第二面是彼此相反的，且其中设置于所述第二面的所述集成电路单元相反于设置在所述第一面的所述电荷侦测板，以防止所述带电粒子干扰所述集成电路单元。

11.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述遮蔽干扰单元及所述集成电路单元具有彼此独立的接地路径。

12.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述集成电路单元包括电流转电压电路及电压放大器。

13.根据权利要求1所述的侦测带电粒子装置，其特征在于：所述电荷侦测板的半径是在5至20mm的范围内。