[发明专利]用于参考切换的光学系统

摘要

本发明公开了用于确定样本的一个或多个属性的系统和方法。所公开的系统和方法可能够沿多个位置进行测量，并且可将样本内的多个光学路径重新成像并解析。所述系统可配置有适用于紧凑型系统的一层或两层光学器件。可以简化所述光学器件以减少经涂覆的光学表面的数量和复杂性、标准具效应、制造公差叠加问题，以及基于干涉的光谱误差。所述光学器件的大小、数量和位置可在整个所述样本上和所述样本内的各个位置处实现多个同时或非同时测量。此外，所述系统可配置有位于所述样本和所述光学器件之间的光学间隔件窗口，并且本发明公开了考虑由于包含所述光学间隔件窗口而导致的光学路径变化的方法。

主权项

1.一种系统，包括：一个或多个光源，每个光源被配置为发射第一光和第二光，所述第一光被朝着所述系统的外部界面引导并包括多个光学路径，并且所述第二光入射在参考对象上；一个或多个第一光学器件，所述一个或多个第一光学器件被配置为收集入射在所述样本上的所述第一光的反射的至少一部分并改变所述第一光的角度；一个或多个第二光学器件，所述一个或多个第二光学器件被配置为接收来自所述一个或多个第一光学器件的所述第一光并将所述第一光聚焦到检测器阵列；并且所述检测器阵列包括多个检测器像素并被配置为检测来自所述一个或多个第二光学器件的经聚焦的第一光的至少一部分。