[发明专利]用于合成高质量石墨烯的热处理设备有效

专利信息
申请号: 201780024763.1 申请日: 2017-06-21
公开(公告)号: CN109071229B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 金龙基 申请(专利权)人: 株式会社参特伦
主分类号: C01B32/182 分类号: C01B32/182;B01J35/06;C23C16/54;C23C16/26;C23C16/46;B65H23/26;B65H37/00;B65H18/08
代理公司: 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 代理人: 罗银燕
地址: 韩国京畿道龙*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及用于合成高质量石墨烯的热处理设备,更详细地,涉及可更有效地在催化剂金属膜蒸镀石墨烯的用于合成高质量石墨烯的热处理设备,提供一种用于合成高质量石墨烯的热处理设备,包括:上部辊腔;蒸镀腔,与上述上部辊腔相连接来使石墨烯蒸镀于催化剂金属膜;以及下部辊腔,安装于上述蒸镀腔的下部,上述用于合成高质量石墨烯的热处理设备的特征在于,在上述上部辊腔设置有用于供给催化剂金属膜的供给辊及用于卷绕蒸镀有石墨烯的催化剂金属膜的卷绕辊,在上述下部辊腔设置有用于以从上述供给辊供给上述催化剂金属膜且在上述蒸镀腔蒸镀石墨烯并由上述卷绕辊进行卷绕的方式转换上述催化剂金属膜的方向的下部方向转换辊,上述蒸镀腔使从上述供给辊向上述下部方向转换辊移送的供给侧的催化剂金属膜和从上述下部方向转换辊向上述卷绕辊移送的排出侧的催化剂金属膜经过,在上述供给侧催化剂金属膜和上述排出侧催化剂金属膜的周围安装有加热部。
搜索关键词: 用于 合成 质量 石墨 热处理 设备
【主权项】:
1.一种用于合成高质量石墨烯的热处理设备,包括:上部辊腔;蒸镀腔,与上述上部辊腔相连接来使石墨烯蒸镀于催化剂金属膜;以及下部辊腔,安装于上述蒸镀腔的下部,上述用于合成高质量石墨烯的热处理设备的特征在于,在上述上部辊腔设置有用于供给催化剂金属膜的供给辊及用于卷绕蒸镀有石墨烯的催化剂金属膜的卷绕辊,在上述下部辊腔设置有用于以从上述供给辊供给上述催化剂金属膜且在上述蒸镀腔蒸镀石墨烯并由上述卷绕辊进行卷绕的方式转换上述催化剂金属膜的方向的下部方向转换辊,上述蒸镀腔使从上述供给辊向上述下部方向转换辊移送的供给侧的催化剂金属膜和从上述下部方向转换辊向上述卷绕辊移送的排出侧的催化剂金属膜经过,在上述供给侧催化剂金属膜和上述排出侧催化剂金属膜的周围安装有加热部。
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