[发明专利]具有射流混合工具的液体靶标X射线源有效

专利信息
申请号: 201780012946.1 申请日: 2017-03-01
公开(公告)号: CN108713237B 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 比约恩·汉森;汤米·图希玛;戈兰·约翰逊 申请(专利权)人: 伊克斯拉姆公司
主分类号: H01J35/08 分类号: H01J35/08
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 杨明钊
地址: 瑞典*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 披露了一种X射线源(100)以及一种用于产生X射线辐射的相应方法。该X射线源包括靶标发生器(110)、电子源(120)和混合工具(130)。该靶标发生器适于形成传播通过相互作用区域(I)的液体射流(112),而该电子源适于提供指向该相互作用区域的电子束(122),使得该电子束与该液体射流相互作用以产生X射线辐射(124)。该混合工具适于在该相互作用区域下游一定距离处引起该液体射流的混合,使得该液体射流的最高表面温度(T最高)低于阈值温度。通过控制该最高表面温度,可以减少蒸发,并且因此减少源自该射流的污染物的量。
搜索关键词: 具有 射流 混合 工具 液体 靶标 射线
【主权项】:
1.一种X射线源(100),包括:靶标发生器(110),适于形成传播通过相互作用区域(I)的液体射流(112);电子源(120),适于提供指向该相互作用区域的电子束(122),使得该电子束与该液体射流相互作用以产生X射线辐射(124);以及混合工具(130),适于在该相互作用区域下游一定距离处引起该液体射流的混合,使得在该相互作用区域下游该液体射流的最高表面温度(T最高)低于阈值温度。
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