[发明专利]用于激光的功率平衡装置、激光加工装置有效
| 申请号： | 201780006760.5 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN108475895B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 船冈幸治;中筋淑江;泷川靖弘 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;B23K26/064;B23K26/067;G02B5/18;G02B5/30;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 得到能够容易地进行向被加工物的稳定的激光加工的激光加工装置、及在该激光加工装置中使用的用于激光的功率平衡装置。用于激光的功率平衡装置具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 功率 平衡 装置 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光的功率平衡装置，其具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。
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