[发明专利]用于生成大气压等离子体的方法有效
申请号: | 201780004810.6 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN108369988B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | F.林纳;P.库德拉;M.普夫 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/107 | 分类号: | H01L41/107;H01L41/053 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 姬亚东;申屠伟进 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种用于生成大气压等离子体的装置(11),其具有压电变换器(1)和第一支撑元件(22),压电变换器(1)在以下位置处安置于第一支撑元件上,当该压电变换器(1)以小于其并联谐振频率的运行频率运行并且压电变换器(1)用于生成非热大气压等离子体时,在该位置上形成振荡节点。 | ||
搜索关键词: | 用于 生成 大气压 等离子体 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于生成大气压等离子体的装置(11),具有:‑压电变换器(1),和‑第一支撑元件(22),压电变换器(1)在以下位置处安置于第一支撑元件上,当压电变换器(1)以小于其并联谐振频率的运行频率运行并且压电变换器(1)用于生成非热大气压等离子体时,在所述位置上形成振荡节点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于埃普科斯股份有限公司,未经埃普科斯股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780004810.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:热电发电装置
- 下一篇:三维存储器设备及其使用方法