[实用新型]一种双阴极气体捕集型真空泵有效
申请号: | 201721916210.0 | 申请日: | 2017-12-31 |
公开(公告)号: | CN207740130U | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 邵文生;于志强;高玉娟 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
主分类号: | F04B37/02 | 分类号: | F04B37/02;H01J9/385;H01J7/22 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 张雪梅 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开一种双阴极气体捕集型真空泵,包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱,阴极组件和阳极,该阴极组件包括两个阴极。本实用新型双阴极气体捕集型真空泵本实用新型所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极,实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵,可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 本实用新型 捕集型 双阴极 阴极 阴极组件 阳极 电子器件 陶瓷芯柱 小型真空 真空维持 电压低 磁铁 壳体 引针 应用 | ||
【主权项】:
1.一种双阴极气体捕集型真空泵,包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱,阴极组件和阳极,其特征在于,所述阴极组件包括两个阴极和用作阴极公共端的金属杆,该金属杆与所述两个阴极电连接。
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