[实用新型]一种双阴极气体捕集型真空泵有效
| 申请号： | 201721916210.0 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN207740130U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 邵文生;于志强;高玉娟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;H01J9/385;H01J7/22 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 本实用新型 捕集型 双阴极 阴极 阴极组件 阳极 电子器件 陶瓷芯柱 小型真空 真空维持 电压低 磁铁 壳体 引针 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种双阴极气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，其特征在于，所述阴极组件包括两个阴极和用作阴极公共端的金属杆，该金属杆与所述两个阴极电连接。
2.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述金属杆由难熔金属制成。
3.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述金属杆为钼杆，所述钼杆通过固定在钼杆顶端的钼带与阴极电连接。
4.如权利要求3所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述两个阴极对称地位于所述钼杆的两侧。
5.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述针封陶瓷芯柱封装有四根引针，分别与两个阴极、阳极和阴极公共端电连接。
6.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述阴极由表面烧结有电泳涂覆的氧化钇的钨丝构成。
7.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述阳极由容置在钽容器内经真空熔炼的铒构成。
8.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述壳体进一步包括用于连接被抽器件的法兰。
9.如权利要求1所述的双阴极气体捕集型真空泵，其特征在于，所述壳体进一步包括用于外接抽真空器件的排气管。
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