[实用新型]一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置有效
| 申请号： | 201721865972.2 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207735791U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 贺斌;赵卫;李朋;焦悦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/03;B23K26/064 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于飞秒激光加工技术领域，特别涉及一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置。包括光束扫描系统、光束检测成像系统及控制系统；光束扫描系统包括沿光路依次设置的飞秒激光器、扫描系统及聚焦镜；光束检测成像系统包括光谱仪及CCD；还包括位于光路中的第一半透镜与第二半透镜；光谱仪位于第二半透镜的反射光路中，CCD位于第一半透镜的反射光路中；飞秒激光器、扫描系统光谱仪及CCD均与控制系统连接，控制系统用于接收并分析光谱仪及CCD的数据，根据分析数据调整飞秒激光器及扫描系统的加工工艺参数。实现制孔过程中涂层及过渡层的无损伤加工以及叶片腔体对面壁无损伤加工。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪 半透镜 飞秒激光器 控制系统 扫描系统 飞秒激光加工装置 光束扫描系统 成像系统 反射光路 光束检测 热障涂层 气膜孔 无损伤 光路 叶片 飞秒激光加工 加工工艺参数 本实用新型 分析数据 叶片腔体 依次设置 对面壁 过渡层 聚焦镜 制孔 加工 分析 | ||
【主权项】：
1.一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：包括光束扫描系统、光束检测成像系统及控制系统；所述光束扫描系统包括沿光路依次设置的飞秒激光器(3)、扫描系统(5)及聚焦镜(9)；所述光束检测成像系统包括光谱仪(7)及CCD(2)；还包括位于光路中的第一半透镜(6)与第二半透镜(8)；光谱仪(7)位于第二半透镜(8)的反射光路中，CCD(2)位于第一半透镜(6)的反射光路中；所述飞秒激光器(3)、扫描系统(5)光谱仪(7)及CCD(2)均与控制系统连接，所述控制系统用于接收并分析光谱仪(7)及CCD(2)的数据，根据分析数据调整飞秒激光器(3)及扫描系统(5)的加工工艺参数。
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