[实用新型]一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置有效
| 申请号： | 201721865972.2 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207735791U | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 贺斌;赵卫;李朋;焦悦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/03;B23K26/064 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光谱仪 半透镜 飞秒激光器 控制系统 扫描系统 飞秒激光加工装置 光束扫描系统 成像系统 反射光路 光束检测 热障涂层 气膜孔 无损伤 光路 叶片 飞秒激光加工 加工工艺参数 本实用新型 分析数据 叶片腔体 依次设置 对面壁 过渡层 聚焦镜 制孔 加工 分析 | ||
【权利要求书】：
1.一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：包括光束扫描系统、光束检测成像系统及控制系统；
所述光束扫描系统包括沿光路依次设置的飞秒激光器(3)、扫描系统(5)及聚焦镜(9)；
所述光束检测成像系统包括光谱仪(7)及CCD(2)；还包括位于光路中的第一半透镜(6)与第二半透镜(8)；光谱仪(7)位于第二半透镜(8)的反射光路中，CCD(2)位于第一半透镜(6)的反射光路中；
所述飞秒激光器(3)、扫描系统(5)光谱仪(7)及CCD(2)均与控制系统连接，所述控制系统用于接收并分析光谱仪(7)及CCD(2)的数据，根据分析数据调整飞秒激光器(3)及扫描系统(5)的加工工艺参数。
2.根据权利要求1所述的一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：所述第一半透镜(6)与第二半透镜(8)位于扫描系统(5)与聚焦镜(9)之间的光路中。
3.根据权利要求2所述的一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：所述控制系统为工控机(1)。
4.根据权利要求3所述的一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：所述光谱仪(7)用于采集加工面的反射光线。
5.根据权利要求4所述的一种带热障涂层叶片气膜孔飞秒激光加工装置，其特征在于：所述CCD(2)用于拍摄加工面成像。
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