[实用新型]双腔狭缝喷嘴有效
申请号: | 201721847610.0 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207786949U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 赵康一 | 申请(专利权)人: | 凯斯科技股份有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 朱健;陈国军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本实用新型的目的在于提供一种双腔狭缝喷嘴,其使得药液所包含的气泡顺畅地排出到外部,从而提高药液的涂布质量,同时可以提高涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度。用于实现所述目的的本实用新型包括:第一空腔,其与药液流入的流入流路相连接,并被药液一次填充;连接流路,其与所述第一空腔的下流相连接;以及第二空腔,其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间,并被药液二次填充。 | ||
搜索关键词: | 本实用新型 第一空腔 基板表面 连接流路 狭缝喷嘴 双腔 填充 第二空腔 流入流路 排出流路 药液喷射 药液涂布 均匀度 地排 外部 | ||
【主权项】:
1.一种双腔狭缝喷嘴,其包括:第一空腔,其与药液流入的流入流路相连接,并被药液一次填充;连接流路,其与所述第一空腔的下流相连接;以及第二空腔,其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间,并被药液二次填充。
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