[实用新型]双腔狭缝喷嘴

权利要求书

1.一种双腔狭缝喷嘴，其包括：

第一空腔，其与药液流入的流入流路相连接，并被药液一次填充；

连接流路，其与所述第一空腔的下流相连接；以及

第二空腔，其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间，并被药液二次填充。

2.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第一空腔形成为以中间部为顶点两侧部间的夹角并非水平的结构，

所述第二空腔水平地形成。

3.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第二空腔以具有小于所述第一空腔的体积的形式形成。

4.根据权利要求2所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第一空腔形成为以中间部为顶点所述两侧部向下倾斜。

5.根据权利要求4所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

用于排出收容于所述第一空腔的药液所包含的气泡的第一排气管分别连接于所述第一空腔的中间部和两侧部，

用于排出收容于所述第二空腔的药液所包含的气泡的第二排气管分别连接于所述第二空腔的两侧部。

6.根据权利要求5所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第一排气管与所述第一空腔的上部相连接，

所述第二排气管与所述第二空腔的上部相连接。

7.根据权利要求5所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，还包括：

第一阀门，其用于开闭所述第一排气管的流路；

第二阀门，其用于开闭所述第二排气管的流路。

8.根据权利要求7所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第一阀门和所述第二阀门同时打开或者选择性地打开。

9.根据权利要求1或3所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述第一空腔的剖面形成为流路向所述连接流路侧逐渐变窄靠拢的形状，

所述第二空腔的剖面形成为半圆形。

10.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述流入流路形成为连接至所述第一空腔的中间部的一侧。

11.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，

所述连接流路和所述排出流路通过第一主体和第二主体的相对面之间的间隔形成，

所述第一空腔和所述第二空腔以所述第一主体和所述第二主体中任意一个的相对面凹入的形式形成。