[实用新型]一种基于不规则源材的表面梯度薄膜制备装置有效
| 申请号： | 201721828289.1 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207793411U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 余光磊;周振宇;郑秋阳;周仁泽;朴钟宇 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强;李百玲 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于不规则源材的表面梯度薄膜制备装置，包括真空腔室以及设置在真空腔室内的基质、用于遮蔽部分下方扩散上来的离散态源材的可移动遮板和蒸发源结构，所述基质位于所述可移动遮板的上方且与蒸发源结构上下正对布置，所述可移动遮板的中部设有通孔，所述可移动遮板的左右两端分别与链带连接，所述链带绕过滚轴与步进电机的电机轴连接，所述滚轴前后安装在真空腔室内；所述蒸发源结构位于所述可移动遮板的下方。本实用新型提供了一种基于不规则源材的表面梯度薄膜制备装置，能使覆层能够牢固地吸附在基质上，生成的薄膜更为均匀致密，并且能在单个工件上加工出完整的组合空间，能够快速制备出组分连续渐变的多元梯度薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 可移动 遮板 薄膜制备装置 表面梯度 不规则 蒸发源 基质 真空腔 滚轴 链带 薄膜 室内 本实用新型 电机轴连接 步进电机 多元梯度 均匀致密 快速制备 真空腔室 组合空间 渐变 遮蔽 覆层 绕过 通孔 吸附 正对 扩散 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于不规则源材的表面梯度薄膜制备装置，其特征在于：包括真空腔室以及设置在真空腔室内的基质、用于遮蔽部分下方扩散上来的离散态源材的可移动遮板和蒸发源结构，所述基质位于所述可移动遮板的上方且与蒸发源结构上下正对布置，所述可移动遮板的中部设有通孔，所述可移动遮板的左右两端分别与链带连接，所述链带绕过滚轴与步进电机的电机轴连接，所述滚轴前后安装在真空腔室内；所述蒸发源结构位于所述可移动遮板的下方，所述蒸发源结构包括坩埚、源材和用于源材蒸发的电子束发射器，所述源材为颗粒突起状且放置在坩埚内，所述电子束发射器位于所述坩埚的下方；所述基质的顶部上设有用于基质上的镀膜进行退火晶化的加热装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721828289.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于球阀的遮盖式表面梯度薄膜制备装置
- 下一篇：一种真空镀膜装置
- 同类专利
- 专利分类
