[实用新型]大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源有效
| 申请号： | 201721783478.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207603978U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 孙斌;邓永锋;赵杨;刘世贵;魏建国;李光熙 | 申请（专利权）人： | 西安航天动力研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型具体涉及一种大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，解决现有非金属放电腔体中出现电荷累积，导致放电腔体内等离子体分布不均，等离子体密度不高等问题，其包括放电腔体、放电天线、抽气口、补气口、金属棒和电感；放电腔体为有机玻璃制成的真空负压圆柱腔体；放电腔体的底端设置有抽气口、补气口，抽气口和补气口分别与真空维持系统和工质储供系统连接，将放电腔体内充入工质气体；放电天线紧贴在圆柱形放电腔体侧壁，并与射频源相连接；金属棒插入放电腔体底面中心，金属棒的另一端与电感通过铜线相连接。本实用新型装置将放电腔体中聚集的电荷引入电感中，并在电感中产生动态平衡，有效的将放电腔体内的剩余电荷导出。 | ||
| 搜索关键词： | 放电腔体 电感 补气口 抽气口 放电腔 金属棒 感性耦合等离子体 本实用新型 非金属腔体 放电天线 体内 射频 有机玻璃 等离子体 等离子体分布 储供系统 底面中心 电荷累积 动态平衡 工质气体 剩余电荷 圆柱腔体 真空负压 真空维持 电荷 铜线 射频源 侧壁 导出 底端 紧贴 引入 | ||
【主权项】：
1.一种大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：包括放电腔体(1)、放电天线(2)、抽气口(3)、补气口(4)、金属棒(5)和电感(6)；所述放电腔体(1)为有机玻璃制成的真空负压圆柱腔体；所述放电腔体(1)的底端设置有抽气口(3)、补气口(4)，所述抽气口(3)和补气口(4)分别与真空维持系统(9)和工质储供系统(10)连接，将放电腔体(1)内充入工质气体；在放电腔体(1)外绕有放电天线(2)，放电天线(2)紧贴在圆柱形放电腔体(1)侧壁，并与射频源(8)通过匹配器(7)连接；所述金属棒(5)插入放电腔体(1)底面中心，金属棒(5)的另一端与电感(6)通过铜线连接。
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