[实用新型]大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源有效
| 申请号： | 201721783478.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207603978U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 孙斌;邓永锋;赵杨;刘世贵;魏建国;李光熙 | 申请（专利权）人： | 西安航天动力研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放电腔体 电感 补气口 抽气口 放电腔 金属棒 感性耦合等离子体 本实用新型 非金属腔体 放电天线 体内 射频 有机玻璃 等离子体 等离子体分布 储供系统 底面中心 电荷累积 动态平衡 工质气体 剩余电荷 圆柱腔体 真空负压 真空维持 电荷 铜线 射频源 侧壁 导出 底端 紧贴 引入 | ||
1.一种大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：包括放电腔体(1)、放电天线(2)、抽气口(3)、补气口(4)、金属棒(5)和电感(6)；
所述放电腔体(1)为有机玻璃制成的真空负压圆柱腔体；所述放电腔体(1)的底端设置有抽气口(3)、补气口(4)，所述抽气口(3)和补气口(4)分别与真空维持系统(9)和工质储供系统(10)连接，将放电腔体(1)内充入工质气体；
在放电腔体(1)外绕有放电天线(2)，放电天线(2)紧贴在圆柱形放电腔体(1)侧壁，并与射频源(8)通过匹配器(7)连接；
所述金属棒(5)插入放电腔体(1)底面中心，金属棒(5)的另一端与电感(6)通过铜线连接。
2.根据权利要求1所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述电感(6)采用铜管绕制，铜管表面镀银。
3.根据权利要求2所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述金属棒(5)直径为10mm，材质为不锈钢或铜。
4.根据权利要求1或2或3所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述放电天线(2)采用单匝铜带，铜带宽80mm。
5.根据权利要求4所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述放电腔体(1)的直径为400mm，高150mm。
6.根据权利要求5所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述放电腔体(1)整体利用密封胶粘合实现密封。
7.根据权利要求6所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述金属棒(5)与放电腔体(1)之间采用O型圈密封。
8.根据权利要求7所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述工质气体为惰性气体。
9.根据权利要求8所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述电感(6)采用直径6mm的铜管绕制。
10.根据权利要求9所述的大面积非金属腔体中射频感性耦合等离子体源，其特征在于：所述金属棒(5)插入放电腔体(1)的深度为10mm。
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