[实用新型]掩膜版清洁设备

摘要

本实用新型的掩膜版清洁设备用于清洁掩膜版。掩膜版包括透明基板、形成于透明基板上的铬层和与铬层相对设置的保护膜。掩膜版清洁设备包括基台、喷嘴杆和与喷嘴杆连接的控制器。基台用于承载掩膜版以使保护膜与基台相对。喷嘴杆包括可移动的设置在基台和掩膜版之间的气杆和设置在气杆上并用于朝保护膜吹气的多个气杆喷嘴。控制器用于控制喷嘴杆沿基本垂直于气杆的方向在基台和掩膜版之间移动。本实用新型的掩膜版清洁设备通过控制器控制喷嘴杆沿基本垂直于气杆的方向在基台和掩膜版之间移动并朝保护膜吹气。如此，使得保护膜各部分的清洁时间与吹气气压基本一致，从而避免了保护膜受压时间过长损坏和清洁不完全的情况，清洁效果好。

主权项

1.一种掩膜版清洁设备，用于清洁掩膜版，所述掩膜版包括透明基板、形成于所述透明基板上的铬层和与所述铬层相对设置的保护膜，其特征在于，所述掩膜版清洁设备包括：基台，所述基台用于承载所述掩膜版以使所述保护膜与所述基台相对；喷嘴杆，所述喷嘴杆包括可移动的设置在所述基台和所述掩膜版之间的气杆和设置在所述气杆上并用于朝所述保护膜吹气的多个气杆喷嘴；和与所述喷嘴杆连接的控制器，所述控制器用于控制所述喷嘴杆沿基本垂直于所述气杆的方向在所述基台和所述掩膜版之间移动。