[实用新型]高精密掩膜版

摘要

本实用新型公开了一种高精密掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，板框的中央形成镂空区，镂空区的外围形成框沿，框沿上其中两相对边沿的顶面分别设有一条形槽，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片两端焊接于框沿上另外两相对边沿的顶面，每个条形掩膜片上设有掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方，支撑膜网上两相背的侧边分别延伸形成一焊接沿，两焊接沿分别焊接于两条形槽内；支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本实用新型提供的高精密掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。

主权项

1.一种高精密掩膜版，其特征在于，包括：板框，所述板框的中央形成镂空区，所述镂空区的外围形成框沿，所述框沿上其中两相对边沿的顶面分别设有一条形槽，所述条形槽沿对应所述边沿的长度方向延伸，且所述条形槽上朝向所述镂空区的一侧敞开；多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述框沿上另外两相对边沿的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方，所述支撑膜网上两相背的侧边分别延伸形成一焊接沿，两所述焊接沿分别焊接于两所述条形槽内；所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。