[实用新型]边缘光刻胶去除装置及涂胶机有效
| 申请号： | 201721741475.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207557649U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王矫阳;柯汎宗;葛伟伟;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种边缘光刻胶去除装置以及涂胶机，所述边缘光刻胶去除装置包括：支架；驱动部，位于所述支架一端；喷嘴，安装于所述驱动部上，所述驱动部用于自动调整所述喷嘴的倾斜角度。所述边缘光刻胶去除装置以及涂胶机可以自动调整喷嘴的角度，获得更好的光刻胶形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘光 胶去除 喷嘴 涂胶机 驱动 支架 本实用新型 光刻胶形貌 | ||
【主权项】：
1.一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，包括：支架；驱动部，位于所述支架一端；喷嘴，安装于所述驱动部上，所述驱动部用于自动调整所述喷嘴的倾斜角度。
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