[实用新型]一种真空等离子设备腔体有效
| 申请号： | 201721740191.0 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207624656U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空等离子设备腔体，包括腔体，所述腔体内设有隔板，所述隔板包括竖直隔板和水平隔板，所述竖直隔板和水平隔板两端分别通过定位槽固定在腔体的内壁，所述竖直隔板和水平隔板将腔体分隔成若干个隔间，所述隔间两侧分布电极。本实用新型的真空等离子设备腔体通过设置可移动的隔板，可以将腔体内部任意分割，以适应客户对方形材料或盒装零件表面处理的需求，并能达到相应的表面清洁效果，适用性好、可灵活调节隔间大小，有着结构简单、能适应各种尺寸零件处理的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 隔板 真空等离子 设备腔体 竖直隔板 水平隔板 隔间 本实用新型 腔体 表面清洁效果 零件表面处理 尺寸零件 两侧分布 腔体分隔 腔体内部 定位槽 可移动 电极 盒装 内壁 体内 分割 灵活 客户 | ||
【主权项】：
1.一种真空等离子设备腔体，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)内设有隔板，所述隔板包括竖直隔板(3)和水平隔板(2)，所述竖直隔板(3)和水平隔板(2)两端分别通过定位槽(4)固定在腔体(1)的内壁，所述竖直隔板(3)和水平隔板(2)将腔体分隔成若干个隔间(5)，所述隔间(5)两侧分布电极。
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