[实用新型]一种测量多晶硅铸造用石英坩埚内部宽度的测量装置有效

专利信息
申请号: 201721729144.6 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN207556409U 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 杨杰;黄金强;冯强;郭宽新;冯立学 申请(专利权)人: 苏州晶樱光电科技股份有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02
代理公司: 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 代理人: 曹成俊
地址: 215614 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种测量多晶硅铸造用石英坩埚内部宽度的测量装置,包括长度已知的管状测量本体,测量本体中活动穿设有测量尺,管状测量本体上设有握持杆,测量尺的0刻度端伸出测量本体且其上设有施力杆,测量本体上沿长度方向设有导向槽,测量尺上设有穿过导向槽的导向柱,导向柱穿出导向槽的部分上设有测量尺锁定装置。本测量装置能够有效测量坩埚底部尺寸,保证坩埚尺寸一致性,从而避免了由于坩埚内截面呈梯形导致的原料浪费和产品不良。
搜索关键词: 测量尺 测量装置 导向槽 测量 坩埚 测量多晶硅 石英坩埚 导向柱 铸造 本实用新型 尺寸一致性 伸出测量 锁定装置 有效测量 内截面 施力杆 握持杆 穿出 穿过 保证
【主权项】:
1.一种测量多晶硅铸造用石英坩埚内部宽度的测量装置,其特征在于:包括长度已知的管状测量本体,测量本体中活动穿设有测量尺,管状测量本体上设有握持杆,测量尺的0刻度端伸出测量本体且其上设有施力杆,测量本体上沿长度方向设有导向槽,测量尺上设有穿过导向槽的导向柱,导向柱穿出导向槽的部分上设有测量尺锁定装置。
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