[实用新型]一种真空镀膜机的蒸发源安装结构有效
申请号: | 201721703947.4 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN207685338U | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 王百江;王伟 | 申请(专利权)人: | 遵化市宝瑞钛金设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 陈书华 |
地址: | 063000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的蒸发源安装结构,包括罐体、蒸发源和异形镀件,所述异形镀件设置在罐体的空腔内,罐体的两侧安装有蒸发源;所述蒸发源分为第一蒸发源和第二蒸发源;所述第一蒸发源向上倾斜固定在罐体的一侧壁上;所述第二蒸发源向下倾斜固定在罐体的另一侧壁上。本结构按倾斜角度的安装形式进行安装蒸发源,整体真空镀膜机上的蒸发源,一部分按向上倾斜角度的形式安装,一部分向下倾斜角度的形式安装,安装倾斜的角度可根据镀膜室直径的大小及镀件的异形结构而定,从而有效改善了异形镀件表面的镀膜整体膜层质量及外观颜色的均匀度。 | ||
搜索关键词: | 蒸发源 罐体 镀件 异形 真空镀膜机 安装结构 向上倾斜 向下倾斜 镀膜 本实用新型 安装形式 外观颜色 异形结构 整体真空 镀膜室 均匀度 整体膜 空腔 | ||
【主权项】:
1.一种真空镀膜机的蒸发源安装结构,包括罐体(1)、蒸发源(2)和异形镀件(3),其特征在于:所述异形镀件(3)设置在罐体(1)的空腔内,罐体(1)的两侧安装有蒸发源(2);所述蒸发源(2)分为第一蒸发源(21)和第二蒸发源(22);所述第一蒸发源(21)向上倾斜固定在罐体(1)的一侧壁上;所述第二蒸发源(22)向下倾斜固定在罐体(1)的另一侧壁上。
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