[实用新型]测量显微镜检测辅助装置有效

专利信息
申请号: 201721669366.3 申请日: 2017-12-04
公开(公告)号: CN207610666U 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 王冰;胡勇;叶成钢;顾倩倩;孟婕;王琦;高党忠 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 代理人: 杨长青
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种测量显微镜检测辅助装置,涉及测量显微镜技术领域,解决通过测量显微镜对样品直接检测时,无法对样品进行翻转,限制了测量显微镜检测范围的问题,采用的技术方案是:测量显微镜检测辅助装置,包括样品固定夹、二维线性移动平台、转动平台、摆动平台和支撑架,样品固定夹安装于二维线性移动平台上,二维线性移动平台固定于转动平台上,样品固定夹的旋转轴、转动平台的旋转轴均垂直于二维线性移动平台的平移面;转动平台安装于摆动平台上,摆动平台固定于支撑架上。通过二维线性移动平台、转动平台、摆动平台的配合,可从各个方向对样品空间进行测量,消除了测量显微镜仅能对平面内尺寸进行检测的限制,拓展了应用范围。
搜索关键词: 测量 二维线性 移动平台 转动平台 显微镜检测 摆动平台 辅助装置 样品固定 旋转轴 支撑架 显微镜 本实用新型 显微镜技术 样品空间 直接检测 平移面 翻转 垂直 检测 拓展 配合 应用
【主权项】:
1.测量显微镜检测辅助装置,其特征在于:包括样品固定夹(1)、二维线性移动平台(2)、转动平台(3)、摆动平台(4)和支撑架(5),所述样品固定夹(1)安装于二维线性移动平台(2)上,二维线性移动平台(2)固定于转动平台(3)上,样品固定夹(1)的旋转轴、转动平台(3)的旋转轴均垂直于二维线性移动平台(2)的平移面;转动平台(3)安装于摆动平台(4)上,摆动平台(4)可带动转动平台(3)摆动,摆动平台(4)固定于支撑架(5)上。
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