[实用新型]一种氮化铝生产用坩埚有效
申请号: | 201721637551.4 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN207600189U | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 马立斌;何竟宇;韩旭;谢小荣;陈建国;颜建军 | 申请(专利权)人: | 莱鼎电子材料科技有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;C01B21/072 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 孙腾 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种氮化铝生产用坩埚,它包括埚体、埚底以及基座;所述埚底上下两侧中间位置对称设置有方形凸起;所述埚体中间设置有方形通孔,且通孔与埚底凸起外形尺寸一致;所述基座上端面设置有方槽,且方槽与埚底凸起外形尺寸一致;所述埚体、埚底、基座相互之间组合、拆分式连接,埚底一侧凸起嵌插在埚底通孔内,埚底另一侧凸起嵌插在基座方槽内;所述基座宽度大于埚底宽度大于埚体宽度。优点是设计合理,结构简单,使用方便,堆叠结构稳定,上层坩埚不易滑落,且堆叠数量增大一倍。 | ||
搜索关键词: | 凸起 坩埚 埚体 尺寸一致 氮化铝 方槽 嵌插 本实用新型 基座上端面 堆叠结构 对称设置 方形通孔 方形凸起 上下两侧 中间设置 埚体宽度 底通孔 堆叠 滑落 通孔 上层 生产 | ||
【主权项】:
1.一种氮化铝生产用坩埚,其特征在于,它包括埚体、埚底以及基座;所述埚底上下两侧中间位置对称设置有方形凸起;所述埚体中间设置有方形通孔,且通孔与埚底凸起外形尺寸一致;所述基座上端面设置有方槽,且方槽与埚底凸起外形尺寸一致;所述埚体、埚底、基座相互之间组合、拆分式连接,埚底一侧凸起嵌插在埚底通孔内,埚底另一侧凸起嵌插在基座方槽内;所述基座宽度大于埚底宽度大于埚体宽度。
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