[实用新型]吸附垫有效
| 申请号： | 201721625482.5 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN207578164U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 姜宏;宋士佳;李琳琳;兰立广;彭东阳 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;姜溯洲 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种吸附垫，包括：第一环氧树脂板、第一胶层、第二环氧树脂板以及第二胶层；第一环氧树脂板通过第一胶层与第二环氧树脂板的一面固接，且在第二环氧树脂板远离第一胶层的另一面设有第二胶层，第二胶层用于第二环氧树脂板与托盘固接；第一环氧树脂板设有多个用于容置晶片的型腔；第二环氧树脂板的中心设有用于释放应力的通孔。本实用新型无需在晶片和托盘之间粘蜡，从而使得抛光流程更为简便，且可大幅延长托盘的使用寿命，而且，采用了材质较硬的两片环氧树脂板，并在与托盘相接的第二环氧树脂板上开设用于卸力的通孔，因此能够克服环氧树脂板因应力发生形变，使晶片的抛光面更为平整，并能够有效、精确地控制晶片的厚度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 环氧树脂板 胶层 托盘 晶片 固接 通孔 本实用新型 厚度变化 控制晶片 使用寿命 抛光 形变 抛光面 吸附垫 容置 吸附 平整 释放 | ||
【主权项】：
1.一种吸附垫，其特征在于，包括：第一环氧树脂板、第一胶层、第二环氧树脂板以及第二胶层；所述第一环氧树脂板通过所述第一胶层与所述第二环氧树脂板的一面固接，且在所述第二环氧树脂板远离所述第一胶层的另一面设有第二胶层，所述第二胶层用于所述第二环氧树脂板与托盘固接；所述第一环氧树脂板设有多个用于容置晶片的型腔；所述第二环氧树脂板的中心设有用于释放应力的通孔。
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