[实用新型]一种石英晶体谐振器真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201721596466.8 | 申请日： | 2017-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN207596941U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 谢尚平;毛毅;吴延剑 | 申请（专利权）人： | 珠海东精大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型旨在公开并提供一种性能稳定可靠、加工产品质量高、便于维修维护的石英晶体谐振器真空镀膜装置。本实用新型包括机架，所述机架设置有承载台，所述承载台上部设置有真空镀膜室和控制装置，所述承载台下方设置有分子扩散泵、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室分别与所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室内的气体；所述承载台下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室、所述分子扩散泵、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置电性连接。本实用新型适用于石英晶体谐振器镀膜加工装置和技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮真空泵 分子扩散 石英晶体谐振器 本实用新型 前级真空泵 真空镀膜室 真空镀膜装置 控制装置 配电装置 承载 便于维修 电性连接 镀膜加工 加工产品 连接管道 真空镀膜 承载台 抽离 室内 维护 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于：所述石英晶体谐振器真空镀膜装置包括机架（1），所述机架（1）设置有承载台（2），所述承载台（2）上部设置有真空镀膜室（3）和控制装置（4），所述承载台（2）下方设置有分子扩散泵（5）、涡轮真空泵和前级真空泵，所述真空镀膜室（3）分别与所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵通过连接管道相连接，所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵以及所述前级真空泵通过管道相连接，用于抽离所述真空镀膜室（3）内的气体，所述承载台（2）下方设置有配电装置，所述配电装置均与所述真空镀膜室（3）、所述分子扩散泵（5）、所述涡轮真空泵、所述前级真空泵以及所述控制装置（4）电性连接。
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