[实用新型]一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统

摘要

本实用新型公开了一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，该系统主要包括脉冲激光产生与衰减模块、显微成像与能量监测模块、测试与控制模块。该系统可自由切换266nm、532nm和1064nm三个波长对辐射电离效应进行单路激光模拟，可灵活快捷地在实验室条件下对半导体器件辐射电离效应进行研究和验证，特别是针对伽马射线等辐射源作用于半导体器件剂量率效应的模拟，具有方便、快捷、准确、安全性高等特点。该实用新型有效降低了试验成本，提高了试验效率，缩短了抗辐射加固的设计周期。

主权项

1.一种优化集成式单光路激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括用于稳定支撑整个模拟系统的调整底座（Ⅰ）、用于产生特定波长脉冲激光的光源（Ⅱ）、用于对单脉冲激光能量进行衰减衰减与光束调整模块（Ⅲ）、用于对待测样品（19）进行成像和进行能量测量的显微观察模块（Ⅳ）、用于采集并记录待测样品（19）辐射电离效应的响应电信号和控制光斑位置的测试与控制模块（Ⅴ）；所述衰减与光束调整模块（Ⅲ）整体设置于光源（Ⅱ）上方，沿激光进入方向依次包括有第一级1/2λ波片（5）、位于第一级1/2λ波片（5）透射光方向上的第一级偏振分光棱镜（6）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的透射光方向上的第二级1/2λ波片（7）、位于第二级1/2λ波片（7）透射光方向上的第二级偏振分光棱镜（8）、位于第二级偏振分光棱镜（8）反射光方向上的光束收集器一（9）、位于第一级偏振分光棱镜（6）的反射光方向上的分光棱镜一（10）、位于分光棱镜一（10）透射光方向上的激光能量计探头一（11）、位于分光棱镜一（10）反射光方向上的光束收集器二（12）、位于第二级偏振分光棱镜（8）透射光方向上的光束匀化器（13），激光经过光束匀化器（13）后射出到后续光路。