[实用新型]一种硅片翻转装置有效
| 申请号： | 201721502745.3 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN207596054U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张洪旺;史卫利 | 申请（专利权）人： | 无锡帝科电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G47/248 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214203 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片翻转装置，包括台架，伸缩气缸，翻转组件和转台组件，所述伸缩气缸设置在台架上，台架上设有导向柱，转台组件设置在导向柱上，转台组件与伸缩气缸通过伸缩杆连接，转台组件包括转台和摆动气缸，转台设置在摆动气缸上方且与摆动气缸连接，所述翻转组件设置在转台上方，翻转组件包括旋转气缸，翻转臂，吸盘和真空发生器，所述翻转臂设置在旋转气缸两侧且与旋转气缸连接，所述吸盘设置在翻转臂上，真空发生器设置在旋转气缸上，吸盘与真空发生器连通。本实用新型能够调节翻转组件的水平位置及角度，使用更灵活方便；此外，能够使硅片实现翻转、移动和转动，实现硅片位置多向变换。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转组件 旋转气缸 转台组件 真空发生器 摆动气缸 伸缩气缸 翻转臂 转台 台架 硅片翻转装置 吸盘 本实用新型 导向柱 硅片位置 吸盘设置 翻转 伸缩杆 硅片 多向 连通 转动 灵活 移动 | ||
【主权项】：
1.一种硅片翻转装置，其特征在于，包括台架，伸缩气缸，翻转组件和转台组件，所述伸缩气缸设置在台架上，台架上设有导向柱，转台组件设置在导向柱上，转台组件与伸缩气缸通过伸缩杆连接，转台组件包括转台和摆动气缸，转台设置在摆动气缸上方且与摆动气缸连接，所述翻转组件设置在转台上方，翻转组件包括旋转气缸，翻转臂，吸盘和真空发生器，所述翻转臂设置在旋转气缸两侧且与旋转气缸连接，所述吸盘设置在翻转臂上，真空发生器设置在旋转气缸上，吸盘与真空发生器连通。
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