[实用新型]GPP工艺光刻夹具板

摘要

本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，尤其是一种GPP工艺光刻夹具板，包括吸片盘、吸盘盖和真空室，吸盘盖固定设置在吸片盘下方，吸片盘底部凹槽和吸盘盖之间形成的密闭空间为真空室，吸片盘上开设有若干用于释放吸力的吸力孔，吸盘盖上开设有用于与真空泵连接的进出气孔，吸片盘上的吸力孔以吸片盘圆心为中心呈米字型分布，吸片盘边缘周向均布有三个用于将吸片盘和吸盘盖快速分离的活动顶片柱，吸片盘外圈设置有密封槽，吸片盘内圈靠近真空室的一侧设置有真空密封圈，在保持光刻质量的同时，方便员工操作，减少损耗，提高效率。

主权项

1.一种GPP工艺光刻夹具板，其特征是，包括吸片盘（1）、吸盘盖（2）和真空室，吸盘盖（2）固定设置在吸片盘（1）下方，吸片盘（1）底部凹槽和吸盘盖（2）之间形成的密闭空间为真空室，吸片盘（1）上开设有若干用于释放吸力的吸力孔（3），吸盘盖（2）上开设有用于与真空泵连接的进出气孔（4），吸片盘（1）边缘周向均布有三个用于将吸片盘（1）和吸盘盖（2）快速分离的活动顶片柱（5），活动顶片柱（5）通过其底部套设的弹簧与吸片盘（1）固定连接。