[实用新型]一种超大测量角度光谱共聚焦形状测量系统

摘要

本实用新型公开了一种超大测量角度光谱共聚焦形状测量系统，包括支架、XY电动扫描台与光学测头总装板，所述光学测头总装板通过第一测头夹具、第二测头夹具与第三测头夹具分别固定有第一测头、第二测头与第三测头，所述第二测头与第三测头分别对称位于第一测头两侧，所述第二测头夹具与第三测头夹具与光学测头总装板之间转动连接，本实用新型采用三只光谱共焦测量头组合测量，避免了单独一只光谱共焦测量头的最大可测量角度的局限性，通过将三只光谱共焦测量头组合为一个完整系统，三路光谱共焦同时测量样品表面，将测量数据自动组合到一起，最终实现输出一条形状测量值，整体设计可以在大大提高最大可测量角度的同时，保证更大的测量量程。

主权项

1.一种超大测量角度光谱共聚焦形状测量系统，包括支架(1)、XY电动扫描台(2)与光学测头总装板(3)，所述光学测头总装板(3)位于XY电动扫描台(2)正上方，其特征在于：所述光学测头总装板(3)通过第一测头夹具(4)、第二测头夹具(5)与第三测头夹具(6)分别固定有第一测头(7)、第二测头(8)与第三测头(9)，所述第一测头(7)与XY电动扫描台(2)所在平面相垂直，且正对XY电动扫描台(2)的中心点，所述第二测头(8)与第三测头(9)分别对称位于第一测头(7)两侧，且与第一测头(7)之间形成有初始夹角α，所述第二测头夹具(5)与第三测头夹具(6)与光学测头总装板(3)之间转动连接。