[实用新型]光罩盒

摘要

本实用新型提供一种光罩盒，包括第一盒体、第二盒体及锁扣机构。第一盒体具有多个第一定位部。第二盒体可沿第一方向相对第一盒体开合，并与第一盒体共同形成容置空间。第二盒体具有多个第二定位部，这些第二定位部与这些第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩。锁扣机构包括设于第一盒体及第二盒体中的一者的滑扣单元，及设于第一盒体及第二盒体中的另一者的扣勾单元。当第二盒体与第一盒体相对盖合时，滑扣单元与扣勾单元可相互扣合以将光罩盒固定于闭合状态，且至少一第一定位部与至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互挡止。可提高作业时的便利性及可靠度，避免外界的杂物因盖合不确实而进入光罩盒污染光罩及光罩在传送过程中受到损伤。

主权项

1.一种光罩盒，其特征在于，包括：第一盒体，具有多个第一定位部；第二盒体，可沿第一方向相对所述第一盒体开合，并在盖合于所述第一盒体时与所述第一盒体共同形成容置空间，其中所述第二盒体具有多个第二定位部，所述多个第二定位部与所述多个第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩；及锁扣机构，包括设于所述第一盒体及所述第二盒体中的一者的滑扣单元，及设于所述第一盒体及所述第二盒体中的另一者的扣勾单元，其中当所述光罩盒在所述第二盒体与所述第一盒体相对盖合的闭合状态下时，所述滑扣单元与所述扣勾单元可相互扣合以将所述光罩盒固定于所述闭合状态，且每一所述第一定位部与对应的所述第二定位部分别沿各垂直于所述第一方向的方向相互挡止，以阻止所述第一盒体与所述第二盒体沿垂直于所述第一方向的方向相对移动。