[实用新型]光罩盒有效
| 申请号: | 201721419468.X | 申请日: | 2017-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN207799329U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
| 发明(设计)人: | 邱铭隆;陈延方 | 申请(专利权)人: | 中勤实业股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 盒体 光罩盒 第二定位部 第一定位部 光罩 锁扣机构 滑扣 扣勾 本实用新型 闭合状态 传送过程 方向相对 容置空间 便利性 可靠度 挡止 盖合 开合 杂物 垂直 损伤 支撑 污染 配合 | ||
本实用新型提供一种光罩盒,包括第一盒体、第二盒体及锁扣机构。第一盒体具有多个第一定位部。第二盒体可沿第一方向相对第一盒体开合,并与第一盒体共同形成容置空间。第二盒体具有多个第二定位部,这些第二定位部与这些第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩。锁扣机构包括设于第一盒体及第二盒体中的一者的滑扣单元,及设于第一盒体及第二盒体中的另一者的扣勾单元。当第二盒体与第一盒体相对盖合时,滑扣单元与扣勾单元可相互扣合以将光罩盒固定于闭合状态,且至少一第一定位部与至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互挡止。可提高作业时的便利性及可靠度,避免外界的杂物因盖合不确实而进入光罩盒污染光罩及光罩在传送过程中受到损伤。
技术领域
本实用新型涉及一种容器,尤其涉及一种光罩盒。
背景技术
一般光罩盒由两个可相对开合的盖体及本体/座体共同形成可容置光罩的空间,在盖体及本体上需要设置锁扣机构以将两盒体相对锁扣固定。
然而,由于制造上的误差或是使用过程中产生的磨损等等因素,盖体与本体之间的接合处有时会存在有间隙。当这些间隙过大时,盖体与本体间就会发生松动,并可能会在盖合的情况下发生非预期的相对位移,并因而使得其中所容置的光罩无法被稳固地保存。严重时甚至可能因为摩擦、震动、…等因素而使得光罩受损。
而锁扣机构依据不同的使用需求也有多种不同的结构设计,例如中国台湾省实用新型专利第M410327号所揭示的一种光罩盒,包括可相对枢转盖合的本体及盖体,其锁扣机构在盖体上设置两彼此相间隔的扣条,并在本体上设置分别与该两扣条相对应的两组滑条与扣块,扣块设于滑条上,并可在本体与盖体相对盖合时滑扣于扣条上(扣块位于锁扣位置),以将光罩盒的本体与盖体锁扣固定。欲开启光罩盒时,需将扣块滑离扣条,也就是移动至释锁位置,才可将盖体掀开。然而,此种结构设计仍存在一些可靠性上的缺点,例如在盖体由开启状态要盖合于本体时,若是因为作业人员的疏忽等因素而致使扣块位于锁扣位置而非释锁位置,则扣块会与扣条产生干涉,使得扣条被挡止而无法通过扣块,造成盖体完全无法盖合或是盖合不确实。轻则使得外界的杂物进入光罩盒污染光罩,重则造成光罩在传送过程中受到损伤。因此要将盖体盖合前,必须确认扣块是位于释锁位置才能将盖体盖合,然后再将扣块移至锁扣位置以确实完成光罩盒的锁扣,才能避免造成其中所容置的光罩受到污染甚或是损伤。
实用新型内容
本实用新型提供一种光罩盒,方便使用且可靠性高。
本实用新型的光罩盒包括第一盒体、第二盒体及锁扣机构。第一盒体具有多个第一定位部。第二盒体可沿第一方向相对第一盒体开合,并在盖合于第一盒体时与第一盒体共同形成容置空间。其中第二盒体具有多个第二定位部,这些第二定位部与这些第一定位部相配合以共同定位并支撑光罩。锁扣机构包括设于第一盒体及第二盒体中的一者的滑扣单元,及设于第一盒体及第二盒体中的另一者的扣勾单元。当光罩盒在第二盒体与第一盒体相对盖合的闭合状态下时,滑扣单元与扣勾单元可相互扣合以将光罩盒固定于闭合状态,且至少一第一定位部与至少一第二定位部沿垂直于第一方向的方向相互挡止,以阻止第一盒体与第二盒体沿垂直于第一方向的方向相对移动。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备





