[实用新型]一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机

摘要

本实用新型提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，它以所述大型罐体作为真空镀室外壁形成临时镀室，将电弧源组件安装在竖立于镀室内的支承物上，然后以一密闭箱体作为弧靶安装座，将电弧源组件的电弧靶固定其上，并将电弧靶引线端密封在所述密封箱体内，然后再通过与该密闭箱体连通的一波纹管在真空镀室内形成一条与外界连通的非真空引线通道，将电弧源组件的水、电、气线路由该通道引出到炉外与相应部分连接。本实用新型镀膜机能方便的解决其真空镀室内的电弧靶的水、电、气线路引出时的连接与密封问题的。

主权项

1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，其特征在于，包括机架、底盘、电弧源组件和支承物；所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述支承物竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件安装在所述支承物上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件通过所述弧靶支承组件安装在所述支承物上，所述弧靶组件包括一个以上所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，并通过该波纹管穿过所述底盘伸到炉外，以便在真空的镀室内形成一条与外界连通的非真空通道，所述电弧源组件的水、电、气线路均从所述密闭箱体经所述通道引出炉外以与相应部分连接。