[实用新型]一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机

说明书

本实用新型提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，它以所述大型罐体作为真空镀室外壁形成临时镀室，将电弧源组件安装在竖立于镀室内的支承物上，然后以一密闭箱体作为弧靶安装座，将电弧源组件的电弧靶固定其上，并将电弧靶引线端密封在所述密封箱体内，然后再通过与该密闭箱体连通的一波纹管在真空镀室内形成一条与外界连通的非真空引线通道，将电弧源组件的水、电、气线路由该通道引出到炉外与相应部分连接。本实用新型镀膜机能方便的解决其真空镀室内的电弧靶的水、电、气线路引出时的连接与密封问题的。

技术领域

本实用新型涉及一种用于大型罐体内壁镀膜的真空阴极电弧镀膜机，所述大型罐体指一端开口另一端具有外凸的弧形封顶盖，直径1.5米—3.3米x高2.5米—3.8 米的罐体。

背景技术

常用真空阴极电弧镀膜机用于镀硬质耐磨的工模具保护膜、或镀硬质耐划花耐腐蚀的日用品装饰膜，最典型的镀层是氮化钛，它呈金黄色，有较高硬度，有较好的耐磨耐蚀性能，常被用于工模具保护膜和各种用品的装饰膜。大型的镀膜机要数镀不锈钢饰板(如长3.2米x宽1.2米)的镀膜机，立式镀室直径2-5米x高2-4米，又如镀不锈钢长管(如直径40毫米x6米)的镀膜机，卧式镀室直径2米x长7米，这类型镀膜机都是30--50只电弧靶位，安置在镀室外壁上，向炉内工件发射靶材镀料等离子体，在工件外表面沉积成膜，或在工件外表面镀料(如Ti)与反应气体(如 N)合成化合物膜(TiN)。这些机型技术比较成熟了，但要求在大型罐体的内壁上，用真空阴极电弧镀TiN膜的镀膜设备，国内外尚未有报导。

实用新型内容

综合而言，为了能圆满解决大型罐体内壁真空镀膜难题，新型镀膜机应具有如下特点：(1)镀膜时，被镀的大型罐体的内腔需要抽真空；(2)由于需要在罐体内壁上镀膜，镀膜时，电弧源要安装在大型罐体内的支承物上，连接电弧源的水、电、气都要引入罐体内腔；(3)电弧源的设置方式还要能完成大型罐体弧形封顶盖的仰角镀膜；(4)罐体内径有多种尺寸，电弧源镀膜时要适应这些尺寸变化；(5)罐体高度有多种尺寸，电弧源镀膜时也要适应这种高度的变化。这些要求，现有镀膜机都无法实现。

现有镀膜机的电弧源都是固定在真空镀室外壁上，而这种新型镀膜机要求电弧源安装在真空镀室内的支承物上，连接电弧源的水、电、气管线都要引入真空镀室。因电弧源要完成罐体内壁的周向镀膜，不同内径、不同高度罐体的镀膜，以及实现仰角镀膜，所以，其必然为一运动件。本实用新型首要问题，解决这种镀膜机真空镀室内电弧源的水、电、气线路引出时的连接和密封问题。

本实用新型的发明目的是，提供一种能方便的解决，其真空镀室内的电弧靶的，水、电、气线路引出时的，连接与密封问题的，大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机。

本实用新型的发明目的通过如下技术方案实现：一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，包括机架、底盘、电弧源组件和支承物；

所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述支承物竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件安装在所述支承物上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件通过所述弧靶支承组件安装在所述支承物上，所述弧靶组件包括一个以上所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，并通过该波纹管穿过所述底盘伸到炉外，以便在真空的镀室内形成一条与外界连通的非真空通道，所述电弧源组件的水、电、气线路均从所述密闭箱体经所述通道引出炉外以与相应部分连接。

本实用新型以待镀工件大型罐体为真空镀室外壁，形成临时镀室，电弧源组件安装在镀室内的支承物上，可满足上述对大型罐体镀膜机的要求(1)、(2)。而本实用新型这种在真空镀室内设置一个连通大气的非真空通道，然后利用该通道引线，巧妙又尽量简单的解决了上述要求(2)中真空区内电弧源组件的水、电、气线路的连接和密封问题。