[实用新型]一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置有效
| 申请号： | 201721415476.7 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN207578159U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 刘建峰;郭栋梁;董开纪 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置，环绕中心齿圈的中心均匀设置有至少三个的螺纹孔，每个螺纹孔内设置有与其螺纹配合的螺纹升降杆，每根螺纹升降杆的顶部均穿过与其对应的螺纹孔后形成凸出于中心齿圈上表面的卡接头，该卡接头与扳手配合以拧动螺纹升降杆，在螺纹升降杆上沿其高度方向设置有刻度尺。本实用新型通过在中心齿圈上设置若干螺纹孔，并在每个螺纹孔内设置带刻度尺的螺纹升降杆，在需要调整中心齿圈的高度时，通过依次拧动每根螺纹升降杆，并通过观察记录每根螺纹升降杆上的刻度尺来掌控每根螺纹升降杆的升降刻度，从而实现了中心齿圈的高度调整，不仅安全省时省力，而且调整的高度也容易掌控。 | ||
| 搜索关键词： | 螺纹升降杆 中心齿圈 螺纹孔 刻度尺 高度调整装置 硅单晶片 研磨 高度方向设置 本实用新型 高度调整 均匀设置 卡接头 上表面 扳手 螺纹 省力 省时 配合 升降 环绕 穿过 观察 记录 安全 | ||
【主权项】：
1.一种硅单晶片研磨工艺中中心齿圈高度调整装置，其特征在于：环绕中心齿圈（1）的中心均匀设置有至少三个的螺纹孔（2），每个螺纹孔（2）内设置有与其螺纹配合的螺纹升降杆（3），每根螺纹升降杆（3）的底部均固定设置在一轴承（4）的内圈中，每个轴承（4）固定设置在一轴承座（5）内，每根螺纹升降杆（3）的顶部均穿过与其对应的螺纹孔（2）后形成凸出于中心齿圈（1）上表面的卡接头（7），该卡接头（7）与扳手配合以拧动螺纹升降杆（3），在螺纹升降杆（3）上沿其高度方向设置有刻度尺（8）。
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