[实用新型]一种曲面玻璃镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种曲面玻璃镀膜装置，包括装置本体、基片台、溅射台、横向转动杆和竖向转动杆，装置本体顶端设有横向转动电机、内腔壁设有环形导轨、中心位置设有转动块，竖向转动电机通过环形导轨副连接装置本体，基片台上设有基片口，溅射台上设有溅射喷头，基片口位于溅射喷头正上方。通过对沿着空间竖直或水平或两个方向同时旋转的控制，实现在不破坏镀膜室真空环境情况下，对曲面玻璃单、双面镀膜的自由控制，并通过多个溅射喷头和多个基片口，在基片台旋转状态下，实现高效率的曲面玻璃镀膜。

主权项

一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，包括：装置本体(1)、基片台(2)、溅射台(3)、横向转动杆(4)和竖向转动杆(5)，所述溅射台(3)焊接在装置本体(1)的下端面；所述装置本体(1)为腔体结构，其顶端设有横向转动电机(13)、沿着其内腔壁设有环形导轨(11)，所述装置本体(1)中心设有转动块(14)，所述转动块(14)通过横向转动杆(4)和横向转动电机(13)传动连接，所述环形导轨(11)圆周端上方设有两个竖向转动电机(10)，所述环形导轨(11)上开设有滑槽，所述竖向转动电机(10)下端设有滑块(12)，所述环形导轨(11)通过滑槽和滑块(12)的连接和竖向转动电机(10)滑动连接；所述竖向转动杆(5)贯穿固定于基片台(2)，所述竖向转动电机(10)通过竖向转动杆(5)和转动块(14)传动连接，所述基片台(2)上设有若干放置玻璃的基片口(8)和用于固定玻璃的夹具(9)，所述溅射台(3)上设有若干溅射喷头(6)，所述基片口(8)位于溅射喷头(6)正上方。