[实用新型]湿式蚀刻机

摘要

本实用新型公开了一种湿式蚀刻机，包括传送机构和设置在传送结构传送路径上的蚀刻装置，蚀刻装置用于对工件进行蚀刻，传送机构包括位于蚀刻装置下游的卸出装置，卸出装置包括第一卸出组件和第二卸出组件，第一卸出组件形成有第一卸出通道，第二卸出组件形成有第二卸出通道，传送机构用于通过第一卸出组件卸出蚀刻装置传送出来的工件并在第一卸出组件停止工作时通过第二卸出组件卸出蚀刻装置传送出来的工件。本实用新型的湿式蚀刻机的卸出装置设有两个卸出组件，在质检装置检测到第一卸出组件上的工件存在质量问题时，第一卸出组件停止工作，第二卸出组件代替第一卸出组件卸出工件，避免正在蚀刻的工件过久停留在蚀刻装置内而导致工件报废。

主权项

1.一种湿式蚀刻机，其特征在于，所述湿式蚀刻机包括：传送机构；和设置在所述传送结构传送路径上的蚀刻装置，用于对工件进行蚀刻；所述传送机构包括位于所述蚀刻装置下游的卸出装置，所述卸出装置包括第一卸出组件和第二卸出组件，所述第一卸出组件形成有第一卸出通道，所述第二卸出组件形成有第二卸出通道，所述传送机构用于通过所述第一卸出组件卸出所述蚀刻装置传送出来的工件并在所述第一卸出组件停止工作时通过所述第二卸出组件卸出所述蚀刻装置传送出来的工件。