[实用新型]热量循环系统

摘要

本实用新型公开了一种热量循环系统，涉及多晶硅生产设备领域，主要目的是提供一种能够节约冷却介质的使用量的热量循环系统。本实用新型的主要技术方案为一种热量循环系统，包括加热部具有储存罐、第一进料管和气体管，气体管设置在加热部的顶部，加热部还具有加热器，加热器连接于储存罐，换热部包括罐体、进液管、第一排出管和第一连接管，罐体连接于气体管，进液管的一端连接于进液设备，另一端穿过罐体，并与第一排出管相互连接，排出管连接于罐体；冷却部的一端连接于第一连接管；回流部具有第二进料管、回流管和第二排出管，第二进料管连接于冷却部，回流管连接于加热部的顶部。本实用新型主要用于加工氯硅烷液体。

主权项

一种热量循环系统，其特征在于，包括：加热部，所述加热部具有储存罐、第一进料管和气体管，所述气体管设置在所述加热部的顶部，所述第一进料管用于进入氯硅烷液体，所述加热部还具有加热器，所述加热器连接于所述储存罐，用于加热从所述第一进料管进入的所述氯硅烷液体；换热部，所述换热部包括罐体、进液管、第一排出管和第一连接管，所述罐体连接于所述气体管，用于接收所述加热部产生的氯硅烷气体，所述进液管的一端连接于进液设备，用于进入常温的氯硅烷液体，另一端穿过所述罐体，并与所述第一排出管相互连接，所述排出管连接于所述罐体，用于排出换热后的氯硅烷气体；冷却部，所述冷却部的一端连接于所述第一连接管，用于接收冷却后的所述氯硅烷气体，并进行冷却；回流部，所述回流部具有第二进料管、回流管和第二排出管，所述第二进料管连接于所述冷却部，用于接收冷却后的氯硅烷气体和/或氯硅烷液体，所述回流管连接于所述加热部的顶部，用于向所述加热部排入冷却后的氯硅烷液体，所述第二排出管用于排出冷却后的氯硅烷气体。