[实用新型]一种掩模板边角残留铬的清除装置

摘要

本实用新型公开了一种掩模板边角残留铬的清除装置，包括支架、宽度调整组件、密封活塞和渗透棉；支架设置有与掩模板侧面相接触的侧定位面，支架中设置有盛装药液的容腔，渗透棉位于容腔底部，用于被药液浸泡，宽度调整组件设置在支架上，密封活塞连接在宽度调整组件上，用于调整渗透棉的宽度；由于在支架上采用了与掩模板侧面相接触的侧定位面，结合浸泡有药液的渗透棉以及可调整其宽度的密封活塞，不仅实现了对待清除的残留铬层宽度的精确调整，而且只需将该清除装置沿掩模板侧面进行前后匀速移动，即可快速精确地清除掩模板边角残留铬层，大大提升了工作时效；同时，即使光刻胶上的有效图形与无效边沿距离过近，也不会对有效图形造成任何影响。

主权项

一种掩模板边角残留铬的清除装置，其特征在于，包括：支架、宽度调整组件、密封活塞和渗透棉；其中，所述支架设置有侧定位面，用于与掩模板的侧面相接触，所述支架中设置有用于盛装药液的容腔，所述渗透棉设置在容腔的底部，用于被盛装在该容腔中的药液浸泡，所述宽度调整组件设置在支架上，所述密封活塞连接在该宽度调整组件上，用于调整所述渗透棉的宽度。