[实用新型]一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置

摘要

本实用新型公开了一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置，属于真空仪器设备领域，该装置由低温强磁场系统、超高真空腔系统、表面调控系统和支撑系统组成。低温强磁场系统用于提供传统物性测量环境；支撑系统用于给装置整体提供结构支撑；而本实用新型的核心部分在于超高真空腔系统和表面调控系统。超高真空系统用于提供表面修饰必要的真空环境，由主腔体、商用泵体组成；表面调控系统用于产生各类原子分子，由差分抽气旋转平台、大法兰、微调平移台、主操作杆和各种表面科学装置组成。本实用新型将传统物性测量装置与表面科学装置相结合，从而实现样品在超高真空与低温强磁场环境中的原位输运测量。

主权项

1.一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置，其特征在于，包括低温强磁场系统、超高真空腔系统、表面调控系统和支撑系统几部分组成；低温强磁场系统与超高真空腔系统主腔体通过法兰进行连接；超高真空腔系统主腔体与表面调控系统的差分抽气旋转平台通过法兰进行连接；低温强磁场系统、超高真空腔系统和表面调控系统连接成为整体通过支撑系统固定在楼板地面。