[实用新型]一种用于粘片机的扩片器

摘要

一种用于粘片机的扩片器，包括安装座、压环组件和安装环，晶圆膜水平安装于安装环，安装环安装于压环组件，压环组件安装于安装座，安装座包括基座环、顶起部和旋转组件，起部呈竖向设置的圆圈，顶起部一体化设置于基座环，旋转组件安装于顶起部外圈的基座环；旋转组件包括6个同步轮和同步带，6个同步轮呈环形阵列的方式安装于基座环，同步轮底部转动安装于基座环，同步轮中心开设有螺纹孔；压环组件底部以环形阵列的方式竖向设有多个丝杆，丝杆和同步轮的螺纹孔螺纹配合。本实用新型的目的在于提出一种用于粘片机的扩片器，该装置便于晶圆膜的撑开，安装于粘片机后，通过驱动装置驱动，就不需要人工撑开晶圆膜了。

主权项

一种用于粘片机的扩片器，包括安装座、压环组件和安装环，晶圆膜水平安装于所述安装环，所述安装环安装于所述压环组件，所述压环组件安装于所述安装座，其特征在于：所述安装座包括基座环、顶起部和旋转组件，所顶起部呈竖向设置的圆圈，所述顶起部一体化设置于所述基座环，所述旋转组件安装于所述顶起部外圈的基座环；所述旋转组件包括6个同步轮和同步带，6个所述同步轮呈环形阵列的方式安装于所述基座环，所述同步轮底部转动安装于所述基座环，所述同步轮中心开设有螺纹孔；所述压环组件底部以环形阵列的方式竖向设有多个丝杆，所述丝杆和所述同步轮的螺纹孔螺纹配合。