[实用新型]一种凸面光栅衍射效率测试系统

摘要

本实用新型公开了一种凸面光栅衍射效率测试系统，其包括光源、第一准直透镜、光阑、滤光装置、分光装置、监测光路、第一信号处理装置、测试光路和第二信号处理装置，光源发出的光依次经过第一准直透镜、光阑、滤光装置和分光装置后，分成出射光和反射光，出射光进入监测光路，反射光进入所述测试光路，监测光路依次设置有第一离轴抛物面镜和第一探测器，第一探测器和第一信号处理装置连接，测试光路依次设置有第二离轴抛物面镜、第一球面镜、待测元件、第二球面镜和第二探测器，第二探测器和第二信号处理装置连接。本实用新型凸面光栅衍射效率测试系统将多种光学元件集成，操作简单，同时测试效率高，测试精度高，具有广阔的市场前景。

主权项

1.一种凸面光栅衍射效率测试系统，其特征在于：包括光源、第一准直透镜、光阑、滤光装置、分光装置、监测光路、第一信号处理装置、测试光路和第二信号处理装置，所述光源发出的光依次经过所述第一准直透镜、光阑、滤光装置和分光装置后，分成出射光和反射光，所述出射光进入所述监测光路，所述反射光进入所述测试光路，所述监测光路依次设置有第一离轴抛物面镜和第一探测器，所述第一探测器和第一信号处理装置连接，所述测试光路依次设置有第二离轴抛物面镜、第一球面镜、待测元件、第二球面镜和第二探测器，所述第二探测器和第二信号处理装置连接。