[实用新型]一种钟罩自动清洗机有效
| 申请号： | 201721245956.3 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207401813U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 迮德娟;何其金;张靖;方艺霖;何飞;徐小萍 | 申请（专利权）人： | 江苏康博新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体行业外延钟罩清洗领域，特别是指一种钟罩自动清洗机，包括密封盖、壳体、钟罩、工作台、连接室、进气口、圆形喷头、升降杆、直喷头、电机、升降装置、进水口、水泵、电磁阀、气动阀、风机、PLC控制系统，所述壳体上方设有所述密封盖，底端设有所述工作台，所述钟罩置于所述工作台上，所述钟罩内部设有所述升降杆，所述升降杆上设有所述圆形喷头和若干直喷头，所述升降杆穿过所述工作台与下端的所述电机相连，电机下端依次设有所述升降装置和连接室，所述进水口一端管道上分别设有所述水泵和电磁阀，所述进气口一端管道上分别设有所述风机和气动阀。本实用新型实现了全自动化清洗，省时省力，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 钟罩 升降杆 工作台 进气口 本实用新型 自动清洗机 电机 升降装置 圆形喷头 电磁阀 进水口 连接室 密封盖 气动阀 直喷头 风机 壳体 水泵 清洗 半导体行业 工作效率高 全自动化 底端 省时 下端 省力 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种钟罩自动清洗机，包括密封盖(1)、壳体(2)、钟罩(3)、工作台(4)、连接室(5)、进气口(6)、圆形喷头(7)、升降杆(8)、直喷头(9)、电机(10)、升降装置(11)、进水口(12)、水泵(13)、电磁阀(14)、气动阀(15)、风机(16)、PLC控制系统，其特征在于：所述壳体(2)上方设有所述密封盖(1)，底端设有所述工作台(4)，所述钟罩(3)置于所述工作台(4)上，所述钟罩(3)内部设有所述升降杆(8)，所述升降杆(8)上设有所述圆形喷头(7)和若干直喷头(9)，所述升降杆(8)穿过所述工作台(4)与下端的所述电机(10)相连，电机(10)下端依次设有所述升降装置(11)和连接室(5)，所述连接室(5)两端设有所述进气口(6)和进水口(12)，所述进水口(12)一端管道上分别设有所述水泵(13)和电磁阀(14)，所述进气口(6)一端管道上分别设有所述风机(16)和气动阀(15)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏康博新材料科技有限公司，未经江苏康博新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721245956.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
