[实用新型]一种硅片生产线上碎片筛选装置有效
申请号: | 201721238713.7 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN207385974U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 董文一;魏文博;张会生;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 | 申请(专利权)人: | 天津环鑫科技发展有限公司 |
主分类号: | B07C5/342 | 分类号: | B07C5/342 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300380 天津市西青区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种硅片生产线上碎片筛选装置,包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒,图像采集装置设于光源附近,图像采集装置、第一机械手和图像显示装置分别与控制器电连接。还包括来料提升机,第一机械手设于来料提升机与图像采集装置之间,来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构,第一花篮卡紧机构设于第一传送带上方,第一花篮提升机构设于第一花篮卡紧机构下方。该装置无需到现场的每个工艺节点处挑拣硅片中的碎片,可在图像显示装置上同时对多个工艺节点处的碎片进行挑拣,效率高;生产线与筛选装置之间连续性更高,效率更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 生产 线上 碎片 筛选 装置 | ||
【主权项】:
1.一种硅片生产线上碎片筛选装置,其特征在于:包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒,所述图像采集装置设于所述光源附近,所述图像采集装置、所述第一机械手和所述图像显示装置分别与所述控制器电连接。
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