[实用新型]一种晶圆切割机的可调夹具

摘要

本实用新型公开了一种晶圆切割机的可调夹具，所述底座开有放置槽，所述第三弹簧与楔块连接，楔块与限位环连接，楔块通过第一插槽活动连接有顶柱，顶柱滑动连接在凹槽内，顶柱连接有螺纹杆，螺纹杆固定在第一空腔的底面，第一齿轮与第二齿轮啮合，第二齿轮连接第一转轴，第一转轴贯穿第一空腔的底面，且连接有第三齿轮，第三齿轮与第四齿轮啮合，第四齿轮固定连接有第二转轴，本实用新型通过使用限位环从四个方向进行夹紧固定，从而保证了晶圆的稳定性，不会在切割过程中倾斜，在底部通过夹板进行进一步的固定，可以通过调节夹板、楔块的伸长距离来适应不用粗细的晶圆，且方便操作和装夹，提高效率。

主权项

一种晶圆切割机的可调夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部中心开有放置槽(15)，所述放置槽(15)内壁的顶部周向开有四个第一滑槽(29)，所述第一滑槽(29)的内壁上均与第三弹簧(2)的一端固定连接，所述第三弹簧(2)的另一端与楔块(3)的一端固定连接，所述楔块(3)的另一端与限位环(27)固定连接，所述楔块(3)靠近第三弹簧(2)的一端开有第一插槽(28)，楔块(3)通过第一插槽(28)活动连接有顶柱(4)，所述顶柱(4)滑动连接在凹槽(5)内，所述凹槽(5)开在底座(1)的内部，所述顶柱(4)通过螺纹连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的底部贯穿第一齿轮(7)固定连接在第一空腔(8)的底面，所述第一空腔(8)位于底座(1)内，所述第一齿轮(7)与第二齿轮(9)啮合，所述第二齿轮(9)的中心固定连接有第一转轴(10)，所述第一转轴(10)贯穿第一空腔(8)的底面，且伸入第二空腔(11)的一端固定连接有第三齿轮(12)，所述第二空腔(11)位于底座(1)内，且位于第一空腔(8)的下方，所述第三齿轮(12)与第四齿轮(13)啮合，所述第四齿轮(13)的中心固定连接有第二转轴(14)，所述第二转轴(14)贯穿第二空腔(11)的侧壁伸出底座(1)外，所述放置槽(15)中部左右两侧壁上均开有第二滑槽(16)，所述第二滑槽(16)的内壁上通过第一弹簧(17)固定连接有夹板(18)，左侧的所述夹板(18)上开有给右侧夹板(18)让位的让位槽(19)，所述夹板(18)的外侧均固定连接有拉杆(20)，所述拉杆(20)贯穿底座(1)的侧壁。