[实用新型]用于防污膜材料的电阻蒸发源

摘要

本实用新型公开了一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其包括蒸发舟等，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方，第一冷却水路位于金属接线端子的一侧，加热器位于金属接线端子的一侧，第一冷却水路和第二冷却水路相连通，金属接线端子位于第二冷却水路的一侧，第二冷却水路位于电极内，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，连接孔位于金属接线端子上且位于电极的一侧。本实用新型能够有效控制加热的温度，始终使蒸发舟温度保持在防污膜的蒸发温度范围内，保证防污膜材料可以均匀蒸发形成均匀的镀膜效果。

主权项

一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其特征在于，其包括蒸发舟、电极、电极棒、加热器、第一冷却水路、金属接线端子、第二冷却水路、上螺帽、下螺帽、上螺母、下螺母、上螺柱、下螺柱、连接孔，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方，第一冷却水路位于金属接线端子的一侧，加热器位于金属接线端子的一侧，第一冷却水路和第二冷却水路相连通，金属接线端子位于第二冷却水路的一侧，第二冷却水路位于电极内，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，上螺柱位于下螺柱的上方，上螺帽、上螺母都与上螺柱连接，下螺帽、下螺母都与下螺柱连接，连接孔位于金属接线端子上且位于电极的一侧。