[实用新型]用于防污膜材料的电阻蒸发源

说明书

本实用新型公开了一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其包括蒸发舟等，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方，第一冷却水路位于金属接线端子的一侧，加热器位于金属接线端子的一侧，第一冷却水路和第二冷却水路相连通，金属接线端子位于第二冷却水路的一侧，第二冷却水路位于电极内，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，连接孔位于金属接线端子上且位于电极的一侧。本实用新型能够有效控制加热的温度，始终使蒸发舟温度保持在防污膜的蒸发温度范围内，保证防污膜材料可以均匀蒸发形成均匀的镀膜效果。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜领域，特别是涉及一种用于防污膜材料的电阻蒸发源。

背景技术

真空蒸发镀膜一般是指加热镀膜材料使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在需要镀膜的材料表面，通过成膜过程形成薄膜。真空镀膜机通常采用电阻蒸发源来进行低温镀膜，镀膜材料放置于蒸发舟内，通过对电极棒通电加热，热量由电极棒蒸发舟，温度升至镀膜材料沸点后，镀膜材料开始逐渐蒸发。防污膜是现在比较常用的镀膜材料，其膜层易于清洁，应用广泛，在防污膜的蒸发镀膜实际应用中，要求蒸发温度控制在80℃左右，传统形式的阻蒸结构，温度分布梯度大，很难控制蒸发舟的温度，并且通常蒸发舟处温度约为400℃，远远高于防污膜的蒸发温度，加热后使其瞬间蒸发，造成镀膜不均匀，影响镀膜效果。

因此，有必要提供一种能够控制镀膜温度，尤其是可以低温作业，保障蒸发舟温度保持在利于防污膜的蒸发温度范围内的电阻蒸发源，使得防污膜可以均匀蒸发，获得均匀的镀膜效果。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其能够有效控制加热的温度，始终使蒸发舟温度保持在防污膜的蒸发温度范围内，保证防污膜材料可以均匀蒸发形成均匀的镀膜效果。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其特征在于，其包括蒸发舟、电极、电极棒、加热器、第一冷却水路、金属接线端子、第二冷却水路、上螺帽、下螺帽、上螺母、下螺母、上螺柱、下螺柱、连接孔，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方，第一冷却水路位于金属接线端子的一侧，加热器位于金属接线端子的一侧，第一冷却水路和第二冷却水路相连通，金属接线端子位于第二冷却水路的一侧，第二冷却水路位于电极内，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，上螺柱位于下螺柱的上方，上螺帽、上螺母都与上螺柱连接，下螺帽、下螺母都与下螺柱连接，连接孔位于金属接线端子上且位于电极的一侧。

优选地，所述加热器为带热电偶加热器。

优选地，所述金属接线端子为铜接线片。

优选地，所述加热器沿第二冷却水路的延伸方向布置且距离蒸发舟1.5～3cm。

优选地，所述加热器的形状为弯折状。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型能够有效控制加热的温度，始终使蒸发舟温度保持在防污膜的蒸发温度范围内，保证防污膜材料可以均匀蒸发形成均匀的镀膜效果，结构简单，成本低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。