[实用新型]用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置

摘要

本实用新型涉及一种用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置，包括包含蒸发源和基材保持件的真空腔室，基材保持件形成面对蒸发源且可绕轴线转动的圆顶件。遮掩组合件位于其间，用于相对于蒸发源部分遮蔽基材保持件上的基材。遮掩组合件包括在真空腔室中静止的固定遮掩部分和承载分配至基材保持件上的基材的用于形成渐变遮掩件的渐变遮护件的多个渐变扇区部分。渐变扇区部分可绕轴线在渐变遮掩件打开与关闭位置之间转动，打开位置中，渐变扇区部分储存在固定遮掩部分后面，关闭位置中，渐变扇区部分在蒸发源与基材保持件之间像扇子一样展开。根据本实用新型，具有或不具有屏蔽效果的真空涂覆步骤都可以更高效的方式执行。

主权项

1.一种用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置(10)，包括真空腔室(12)，所述真空腔室包含蒸发源(14)和用于保持多个基材的基材保持件(16)，所述基材保持件(16)形成为面对所述蒸发源(14)设置的圆顶件，所述圆顶件能通过圆顶件转动驱动件(18)绕穿过所述蒸发源(14)的转动轴线(R)转动，以使得由所述基材保持件(16)所保持的基材能在围绕所述转动轴线(R)且具有相对于蒸发源的相应恒定距离的圆形路径上运动，其中，遮掩组合件(20)位于所述真空腔室(12)中所述蒸发源(14)与所述基材保持件(16)之间，用于相对于所述蒸发源(14)部分地遮蔽由所述基材保持件(16)所保持的基材，其特征在于，所述遮掩组合件(20)包括静止于所述真空腔室(12)中的固定遮掩部分(22)，且包括多个渐变扇区部分(24、26、28)，所述渐变扇区部分各自承载分配至由所述基材保持件(16)所保持的基材的渐变遮护件(30)，用于形成渐变遮掩件，其中，所述渐变扇区部分(24、26、28)能绕所述转动轴线(R)在渐变遮掩件打开位置与渐变遮掩件关闭位置之间转动，在所述渐变遮掩件打开位置中，所述渐变扇区部分(24、26、28)储存在所述固定遮掩部分(22)后面，在所述渐变遮掩件关闭位置中，所述渐变扇区部分(24、26、28)在所述蒸发源(14)与所述基材保持件(16)之间像扇子一样展开。